FFU Fan Filter Unit er en modulær luftrenseenhet med egen kraft og integrert høy-effektivt filter, mye brukt i miljøer med strenge krav til luftrenslighet.
Viktige definisjonspunkter
Fullt kinesisk navn: Viftefilterenhet (også kalt viftefiltermodul eller viftefilterenhet)
Engelsk forkortelse: FFU (Fan Filter Unit)
Kjernefunksjon: Luft trekkes inn fra toppen av den innebygde-viften og renses i to trinn gjennom et for-filter + høy-effektivitet (HEPA) eller ultra-lav penetrasjonsfilter (ULPA), og leveres deretter som ren laminær luftstrøm med en hastighet på 0,45 m/s ± 20 %.
Strukturelle egenskaper: Modulær design, kan brukes individuelt eller i kombinasjon med flere enheter, støtter ulike installasjonsmetoder som takinnstøping eller oppheng.
Gjeldende renslighetsklasse: Kan oppfylle renslighetskrav fra ISO klasse 10 (100 000 nivå) til ISO klasse 1 (klasse 100 eller enda høyere).
Typiske applikasjonsscenarier
Halvlederproduksjon (f.eks. SMIC 14nm/28nm produksjonslinjer)
Biofarmasøytiske produkter, produksjon av medisinsk utstyr
Sykehus operasjonsstuer, laboratorier
Elektroniske renrom, rene benker, rene båser, etc.